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石英玻璃生产工艺复杂,主要因为石英玻璃纯度高、熔化温度高、粘度大,并要求高透明度(85%以上)。由于SiO2熔融时粘度大,气泡、气线不容易排除,采用真空熔化,高温加压溶解气泡、气线,采用分层加料,依靠表面张力来排除气泡、气线。新技术等离子、激光可以获得高温,石英砣价格,也都用来熔化生产石英玻璃,优质石英砣,其中等离子加热已投入生产。


石英棒的制作工序中,下面这几点需要大家注意:

  1、清洗(Cleaning)将加工完成的晶片进行最后的彻底清洗、风干。

  2、去疵(Gettering)用喷砂法将晶片上的瑕疵与缺陷感到下半层,那曲石英砣,以利于后序加工。

  3、蚀刻(Etching)以化学蚀刻的方法,石英砣厂家,去掉经上几道工序加工后在晶片表面因加工应力而产生的一层损伤层。

  4、研磨(Lapping)研磨的目的在于去掉切割时在晶片表面产生的锯痕和破损,使晶片表面达到所要求的光洁度。

  5、抛光(Polishing)对晶片的边缘和表面进行抛光处理,一来进一步去掉附着在晶片上的微粒,二来获得极佳的表面平整度,以利于后面所要讲到的晶圆处理工序加工。


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