铁在硅石中常以以下几种形式存在以微细粒状态赋存在粘土 ,石英砣销售,或者高岭土化的长石中;以氧化铁薄膜形式附着在石英颗粒的表面;含在重矿物和铁矿物等颗粒中;在石英颗粒内部呈浸染或透镜状态或以固溶态存在于石英晶体内部。此外,加工过程中也会混入一定量的机械铁。
含铝杂质主要来自长石、云母和粘土矿物 ,还有Al3+ 替代 Si4+ 存在于石英晶格中。这种异价类质同象的替换,常造成碱金属阳离子进入结构空隙,以保持电子的平衡,形成结构杂质。
在石英棒的制作工序中,下面这4点需要大家注意:
1、晶棒裁切与检测(Cutting & Inspection)将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,日喀则石英砣,并对尺寸进行检测,优质石英砣,以决定下步加工的工艺参数。
2、切片(Wire Saw Slicing)由于硅的硬度非常大,所以在本工序里,采用环状、其内径边缘镶嵌有钻石颗粒的薄片锯片将晶棒切割成一片片薄片。
3、外径研磨(Surface Grinding & Shaping)由于在晶棒成长过程中,其外径尺寸和圆度均有一定偏差,石英砣价格,其外园柱面也凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差。
4、圆边(Edge Profiling)由于刚切下来的晶片外边缘很锋利,硅单晶又是脆性材料,为避免边角崩裂影响晶片强度、破坏晶片表面光洁和对后工序带来污染颗粒,必须用专用的电脑控制设备自动修整晶片边缘形状和外径尺寸。
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