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在石英棒的制作工序中,下面这4点需要大家注意:  1、晶棒裁切与检测(Cutting & Inspection)将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,并对尺寸进行检测,以决定下步加工的工艺参数。  2、切片(Wire Saw ...


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石英棒的制作工序中,下面这4点需要大家注意:

  1、晶棒裁切与检测(Cutting & Inspection)将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,并对尺寸进行检测,以决定下步加工的工艺参数。

  2、切片(Wire Saw Slicing)由于硅的硬度非常大,所以在本工序里,采用环状、其内径边缘镶嵌钻石颗粒的薄片锯片将晶棒切割成一片片薄片。

  3、外径研磨(Surface Grinding & Shaping)由于在晶棒成长过程中,其外径尺寸和圆度均有一定偏差,气炼石英砣供应商,其外园柱面也凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差。

  4、圆边(Edge Profiling)由于刚切下来的晶片外边缘很锋利,硅单晶又是脆性材料,为避免边角崩裂影响晶片强度、破坏晶片表面光洁和对后工序带来污染颗粒,必须用专用的电脑控制设备自动修整晶片边缘形状和外径尺寸。


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