当前真空高压气冷淬火技术发展较快，软氮化工艺，相继出现了负压(<1×105Pa)高流率气冷、加压(1×105~4×105Pa)气冷、高压(5× 105~10×105Pa)气冷、超高压一(10×105~20×105Pa)气冷等新技术，聊城软氮化，不但大幅度提高了真空气冷淬火能力，软氮化方法，且淬火后工件表面光亮度好，变形小，软氮化质量，还有高效、节能、无污染等优点。
真空高压气冷淬火的用途是材料的淬火和回火，不锈钢和特殊合金的固溶、时效，离子渗碳和碳氮共渗，以及真空烧结，钎焊后的冷却。
低温回火 加热温度150-200℃。淬火产生的马氏体保持不变，但是钢的脆性降低，淬火应力降低。主要用于工具、滚动轴承、渗碳零件和表面淬火零件等要求高硬度的零件。中温回火
加热温度350-500℃。回火组织为针状铁素体和细粒状渗碳体（FeC）的混合物，称为回火屈氏体。中温回火能获得较高的弹性极限和韧性，主要用于弹簧和热作磨具回火。高温回火
加热温度500-600℃。淬火加高温回火的连续工艺称为调质处理。高温回火组织为多边形的铁素体（ferrite）和细粒状渗碳体（FeC）的混合组织，称为回火索氏体。
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