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薄膜常见问题(二)

5、自发成核指的是整个成核过程中原子由气相转变为固相或液相的相变自由能推动下形成的，也称均匀成核。在薄膜和衬底之间侵润性较差的情况下，薄膜的形核过程可以近似的认为是一个自发形核过程。

6、什么是薄膜的附着力，如何提高附着力？

薄膜的附着力是指薄膜对沉底的黏着能力的大小，即薄膜与衬底在化学键合力或物理咬合力作用下的强度。可以通过提高界面的粗糙程度或增加界面的过渡层，还可以通过高能离子的轰击提高表面原子的扩散能力形成有效界面健合，形成扩散层等方法提高附着力。

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