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最早期的石英坩埚是全部的透明的结构,这种透明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件,增加晶棒生长的困难度。所以这种坩埚基本被淘汰使用。现代的石英坩埚现代拉单晶的石英坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成...


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最早期的石英坩埚是全部的透明的结构,这种透明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件,增加晶棒生长的困难度。所以这种坩埚基本被淘汰使用。

现代的石英坩埚现代拉单晶的石英坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,石英仪器厂家,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。


 智能化石英坩埚的清洗系统和用途介绍

智能化石英坩埚在线清洗系统,中卫石英仪器,包括配酸系统、酸洗系统、纯水冲淋系统等。配酸系统按照预定的酸液与纯水配比配置一定浓度的酸。将配好的酸液导入酸池用于石英坩埚的酸液喷淋,酸洗系统中的酸液可以循环利用,优质石英仪器,酸洗完成后,石英坩埚进入纯水冲淋系统进行纯水冲洗,去除酸洗过程中坩埚表面残留的杂质。整套系统由PLC控制系统进行控制,实现石英坩埚自动化智能化在线清洗。


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