软氮化就是氮碳共渗，这并不是单一的渗碳或者氮化，而是渗N为主，高频淬火质量，并兼有渗C的一个表面处理工艺。软氮化的温度比渗碳低，但比氮化高，一般在570度左右。而且不同于渗碳后需要重新加热淬火，而是保温后直接淬火，节约了一道加热工序。硬化层深度相当于渗碳，高于氮化。具有二者的优点，比单一处理要好。
软氮化是一种以渗氮为主的低温氮碳共渗，高频淬火工艺，主要特点是渗速快(2-4h)，但渗层薄(一般在0.4以下)，渗层梯度陡，硬度并不低，如果是液体氮化，高频淬火电话，硬度甚至略高于气体氮化。
电炉各机械传动部分采用连锁控制，临沂高频淬火，即炉门打开后自动切断通风机装置和加热件电源。炉门关闭到位后，才能接通通风机装置和加热元件的电源，防止误操作而发生故障和事故。系统具有声光报警功能。温控系统采用PID过零触发可控硅，智能表控温。另采用上海大华仪表厂多点自动记录仪记录温度和超温报警双重控制，确保工件不超温，该控温仪还设置了通讯口，可与中央控制计算机通讯，工艺过程的温度控制数值、保温时间等参数由中央控制计算机统一编程、管理。
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