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1.石英坩埚的主要指标包括三个方面:几何尺寸;纯度、杂质含量;外观。

几何尺寸体现了支架试验台精加工水平,石英仪器价格,由于单晶生产厂家的热场系统(主要是石墨坩埚)相对固定,因此石英坩埚的几何尺寸有统一要求。

2.由于GE坩埚进入市场较早,新余石英仪器,所以我国产品几何尺寸一般沿用了GE的标准。

3.纯度、杂质含量标准,采用了石英砂原料生产厂家的标准,由于国产坩埚都采用了进口原料,国内坩埚厂家的标准与国际标准一致。


石英坩埚使用注意事项

  1、石英坩埚的使用,不能和HF接触,高温时,石英仪器哪家好,极易和苛性碱及碱金属碳酸盐作用。

  2、石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

  3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。


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