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石英坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。一般竭、晶直径比以3:1为佳。其理由是它与熔液直接接触,石英仪器厂家,熔硅与石英坩埚的sio:反应生成sio后,石英仪器用途,...


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石英坩埚尺寸大小(或容积大小)的确定取决于晶体生长的直径和长度,同时还要考虑拉晶工艺中对埚、晶直径比的要求。一般竭、晶直径比以3:1为佳。

其理由是它与熔液直接接触,石英仪器厂家,熔硅与石英坩埚的sio:反应生成sio后,石英仪器用途,它同时向熔体内部扩散和向熔体表面挥发。

最后有一部分到达固一液界面附近,混入到正在生长的晶体中去,芜湖石英仪器,从而使单晶体中的氧含量增高。低温水槽采取较大的涡、晶直径比,将有利于氧的大量挥发。


石英坩埚使用注意事项

  1、石英坩埚的使用,不能和HF接触,高温时,优质石英仪器,极易和苛性碱及碱金属碳酸盐作用。

  2、石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

  3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。


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