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华利特真空泵在电子行业的应用

电子、半导体、太阳能行业太阳能电池板主要材料是'硅','硅'是我们这个星球上储藏最丰量的材料之一。 晶体硅电池板:多晶硅太阳能电池、单晶硅太阳能电池。 华利特真空泵(www.hlzk.cn和水环真空机组被广泛应用于太阳能电池板的各个生产领域,包括:单晶硅,多晶硅生长炉,大真空负压系统,太阳能电池板的切割,真空抽气负压系统,太阳能真空层压等 电子半导体真空应用包括灯泡的排气,电容、集成晶体管电路、LCD显示器的生产等。    


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罗茨机组选型注意事项:

  了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,华利抽气负压系统,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

  罗茨真空机组的工作压力应该满足真空设备的极限真空及工作压力要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg(绝压)的工作压力,选用的真空泵的极限压力至少要2mmHg,能低于1mmHg。通常选择泵的极限压力要高于真空设备工作压力半个到一个数量级。

  正确地选择罗茨真空机组的工作点。罗茨真空机组的正常工作范围为吸入压力~极限压力×5。例:JZJ2B150-2.1罗茨水环真空机组的正常工作范围为:6000Pa~125Pa,该工作范围为主泵开启后的正常工作压力范围。

  真空机组在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

  根据实际工况条件选用合适的机组配置。例如:JZJ2B300-4.1机组及JZJ2B300-2.1机组的抽气速率及极限压力都是相同的,真空负压系统,所不同的是它们的工作范围及消耗的功率不同,JZJ2B300-4.1机组的正常工作范围为2000Pa~125Pa,而JZJ2B300-2.1机组的正常工作范围为5000Pa~125Pa。很明显JZJ2B300-2.1机组的工作范围更宽,但其所消耗的功率也更大。如果能确认被抽系统的工作压力<2000Pa时,应优先选用JZJ2B300-4.1机组以节约能源。但如要求机组对系统有较强的预抽能力且机组需较长时间地工作在较高压力时,则选用具有的前级泵的JZJ2B300-2.1机组更为适宜。


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