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石英坩埚使用注意事项  1、石英坩埚的使用,不能和HF接触,石英仪器价格,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。  2、石英坩埚可在1450度以下使用,优质石英仪器,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅...


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石英坩埚使用注意事项

  1、石英坩埚的使用,不能和HF接触,石英仪器价格,高温时,极易和苛性碱及碱金属碳酸盐作用。

  2、石英坩埚可在1450度以下使用,优质石英仪器,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

  3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。


石英高型坩埚 的析晶可能的原因: 

1用于拉晶的原料纯度低,所含杂质太多或清洗工艺存在问题。 

2石英坩埚受到沾污,在所有队石英坩埚的沾污中,碱金属离子钾(K)钠(Na)锂(Li)和碱土金属离子钙(Ca)镁(Mg)这些离子的存在是石英坩埚产生析晶的主要因素。 

3熔料时温度过高,铜仁石英仪器,也将加重析晶的程度。 

4 在操作过程中,因操作方法不当也会产生析晶如在防止石英坩埚和装填硅料的过程中,石英仪器销售,带入的汗水,口水,油污,尘埃等。 

5 新的石墨坩埚未经彻底煅烧或受到沾污就投入使用是造成石英坩埚外层析晶的主要原因。 

6 石英坩埚的生产,清洗,包装过程中受到沾污。


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