高纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，超滤矿泉水设备，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。超纯水，医疗超纯水设备，是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、高纯化处理以及后级处理四大步骤，工业超纯水设备，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。
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