PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，三明市石英玻璃管，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，石英玻璃管厂家，所以要定期更换。
石英管密封问题的解决办法
只要做一个法兰就可以了，法兰和石英管采用O圈密封就可以了，双O圈密封应该能到高真空吧。对于温度的影响，优质石英玻璃管，石英管当然可以抽真空。一般的硅胶圈只能够耐到100-200摄氏度，所以需要在法兰上加上水冷装置，当然如果你热源离法兰较远，弄个风扇吹吹就可以了说的这些功能任何一个最简单的退火炉都能够完成。
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