一种通过含硅原始成分的火焰水解来制造石英玻璃管的方法，该方法包括以下步骤：
把该原始成分供给一个借此制造出含SiO2颗粒的沉积燃烧炉，这些颗粒被沉积在一个绕其纵轴线旋转的载体上并形成一个具有多孔烟灰壁的烟灰管，所述烟灰壁具有预定的径向烟灰密度分布，石英玻璃管销售，该烟灰管在含lv气氛中被处理并且经过处理的烟灰管被玻璃化，其特征在于，在该烟灰壁的一个内部区域里调节出一个至少是石英玻璃密度的25％的较高的密度，优质石英玻璃管，在该烟灰壁的一个外部区域里调节出一个较低的密度并且在一个邻接该内部区域的过渡区域内调节出向着该外部区域减小的密度，其中，该过渡区域分布在该烟灰壁厚度的至少75％的范围里。
PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，石英玻璃管价格，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，大理白族自治州石英玻璃管，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。
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