康鹏化工,宜昌市石英玻璃管,石英玻璃管厂家

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石英玻璃管在半导体工业设备上,石英玻璃管报价,运用温度经常在 1000 ℃至 1300 ℃之高温状态, 在此种状态下由于附著不纯物招致失透现象发作,失透之部分为石英之晶质化, 晶质化之变态点为 275 ℃,当石英玻璃自高温降至此变态温度时,石英玻璃管价格,表面失透之晶 质化部分与石英玻璃本身高温之 α 相与低温之 β 相间收缩系数不同在急速冷却下 产生不透明之剥离状更严重时会构成分裂现象产生。为使石英制品能运用更久, 就必需留意防止成石英失透产生的缘由, 而构成失透的污染源就属碱金属、碱土金属、汗水、口水、油污、尘埃 …… 等等。且0.1mg/cm2l}k 就会构成数十倍或数百倍的失透量。 因此,防止这些污染源附著在石英表面上 除了不直接用空手去拿石英外, 运用在高温作业之前必先做清洗之工作以确保石 英表面之洁净度。 普通石英之洗净需求一些程序,石英玻璃管厂家, 首先用纯水先冲洗表面, 再置入酸洗槽内浸泡一 些时间,取出后再用纯水冲洗后晾干


PECVD中用的石英管规格主要有两种:30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用: 1) 石英管是硅材料,它界定了反应的范围,使反应均匀。做真空chamber用;石英管,结合前后盖板,提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用, 本身不产生等离子体,是微波源与铜波导管产生的。 2)干净,钠离子含量低; 为什么要定期更换石英管? 定期更换石英管,也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了,宜昌市石英玻璃管,石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx,影响石英管的激发效果,会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数,所以要定期更换。


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