等离子体化学反应过程大致如下:
(1). 电场 + 电子------- 高能电子
(1).高能电子+污染物------- { 受激原子 }
受激基团 活性基团
游离基团
(3). 活性基团 + 氧气------- 生成物 + 热
(4).活性基团 + 活性基团------- 生成物 + 热
从以上反应过程可以看出,电子先从电场获得能量,通过激发或电离将能量转移到污染物分子中去,那些获得能量的污染物分子被激发,同时有部分分子被电离,从而成为活性基团。然后这些活性基团与氧气、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
另外,高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获,成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性,在化学反应中起着重要的作用。
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