液体软氮化主要不同是在氮化层里之有Fe3Nε相，Fe4Nr相存在而不含Fe2Nξ相氮化物，ξ相化合物硬脆在氮化处理上是不良于韧性的氮化物，液体软氮化的方法是将被处理工件，先除锈，脱脂，调质电话，预热后再置于氮化坩埚内，坩埚内是以TF – 1为主盐剂，被加温到560～600℃处理数分至数小时，依工件所受外力负荷大小，而决定氮化层深度，在处理中，必须在坩埚底部通入一支空气管以一定量之空气氮化盐剂分解为CN或CNO，渗透扩散至工作表面，使工件表面最外层化合物8～9%wt的N及少量的C及扩散层，氮原子扩散入α – Fe基地中使钢件更具耐疲劳性，氮化期间由于CNO之分解消耗，所以不断要在6～8小时处理中化验盐剂成份，以便调整空气量或加入新的盐剂。
软氮化就是氮碳共渗，这并不是单一的渗碳或者氮化，而是渗N为主，并兼有渗C的一个表面处理工艺。软氮化的温度比渗碳低，但比氮化高，一般在570度左右。而且不同于渗碳后需要重新加热淬火，而是保温后直接淬火，节约了一道加热工序。硬化层深度相当于渗碳，高于氮化。具有二者的优点，比单一处理要好。
软氮化是一种以渗氮为主的低温氮碳共渗，主要特点是渗速快(2-4h)，德州调质，但渗层薄(一般在0.4以下)，渗层梯度陡，调质工艺，硬度并不低，如果是液体氮化，硬度甚至略高于气体氮化。
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