PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，石英玻璃管用途，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，西安石英玻璃管，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。
对于乳白色石英玻璃管技术性能指的是什么呢！具体的情况介绍如下：
这种玻管表面光滑， 厂采用提高前辈的工艺和独特的配方出产的优质乳白色石英玻璃管。无破皮气线，乳白度高，内在质量不乱，石英玻璃管厂家，取暖器，微波炉，电烤箱，消毒柜等远红外加热领域的优选材料。公司可以根据顾客的要求进行切割，弯曲，烧口等加工。
石英管如何去辨别好坏？
一：闻起来有很天然的石滋味、闻气味残次的石英石出产过程中加入了含甲醛的胶水，好的石英管都是环保资料出产。出产出的板材有很浓的甲醛味，这种石英管报价再廉价也不能选啊，损害生命！
二：有气孔则欠好的石英管、外表是不是有气孔。
三：不显着的为好的商品、拼接处缝隙。
四：划痕深并且显着地为不合格、钥匙或许铅笔刀划。
五：简单坠落石头粉末为不合格、200目以下砂纸打磨。
六：有切开崩裂口者为不合格、切开面上下沿。
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