石英管深加工不用涂料，辐射率稳定、高温不变形、无有害辐射、无环境污染、耐高温、抗蚀能力极高，化学稳定性好、热惯性小、热响应速度快、热转换效率高。加热温度可自行选择、长期使用辐射性能不退变，石英管价格，结构合理使用方便。石英管是国内选择性辐射远红外加热元件。用途广泛、适用性强。它可广泛地应用于机电、化学、电子纺织、印染、塑料、印刷、粮食、食品加工、医学卫生、皮革等加热干燥，固化脱水及各类烘道、烘房、烘箱的加热设备上。石英管特别适应于医药卫生、科研试验室、要求无污染的环境，含酸碱等腐蚀性加热场合。
PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，优质石英管，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，玉溪市石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。
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